[实用新型]一种双台面直写式曝光机有效
| 申请号： | 201821818325.0 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN209433179U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种双台面直写式曝光机，提升了设备利用率,减少了设备各系统的工作的空闲时间,从而有效提升了曝光机的产能，包括底座和通过龙门机构顺序设置在底座上的对位机构、曝光机构，在底座上设置有两个相互平行设置的步进轴运动组件，步进轴运动组件上分别安装有Z轴运动组件，步进轴运动组件能够带动Z轴运动组件前后移动经过对位机构、曝光机构，Z轴运动组件分别与基板承载台面固定连接，基板承载台面上设有吸盘，基板承载台面一上一下设置成两层，Z轴运动组件能够带动基板承载台面上下移动使得曝光焦面对准。 | ||
| 搜索关键词： | 台面 基板承载 曝光机 轴运动 步进 底座 对位机构 曝光机构 直写 设备利用率 吸盘 本实用新型 基板承载台 机构顺序 平行设置 前后移动 上下移动 一上一下 产能 焦面 两层 龙门 空闲 对准 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种双台面直写式曝光机，包括底座和通过龙门机构顺序设置在所述底座上的对位机构、曝光机构，其特征在于：在所述底座上设置有两个相互平行设置的步进轴运动组件，所述步进轴运动组件上分别安装有Z轴运动组件，所述步进轴运动组件能够带动所述Z轴运动组件前后移动经过所述对位机构、曝光机构，所述Z轴运动组件分别与基板承载台面固定连接，所述基板承载台面上设有吸盘，所述基板承载台面一上一下设置成两层，所述Z轴运动组件能够带动所述基板承载台面上下移动使得曝光焦面对准。
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