[实用新型]晶圆电镀装置有效
| 申请号： | 201821819767.7 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN208949428U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 朱虬;李若东;王涛;何中见;汪升涛;何亚峰 | 申请（专利权）人： | 无锡鼎亚电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/00 | 分类号： | C25D7/00;C25D5/08;C25D21/18;C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 程爽 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆电镀装置，包括支架、精密过滤机、药缸、立式泵、精密喷镀盒、气动压板、精密电镀电源、气缸、双脉冲整流器。其中，所述气缸的一端固定在所述支架的上部且另一端连接在所述气动压板的上面，所述精密喷镀盒设置在所述支架的中部并位于所述气动压板的正下方，所述精密过滤机通过管道分别与所述药缸、所述精密喷镀盒相连。所述精密喷镀盒内设置有阳极碳板，所述精密电镀电源的正负极通过所述双脉冲整流器分别与所述气动压板和所述阳极碳板电性连接。本实用新型提供的晶圆电镀装置，自动化高，能够有效的完成晶圆电镀的要求，具有生产效率高、电镀良品率优的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 气动压板 喷镀 支架 晶圆电镀装置 本实用新型 精密过滤机 电镀电源 阳极碳板 双脉冲 整流器 电镀 气缸 药缸 电镀装置 电性连接 生产效率 一端连接 立式泵 良品率 正负极 晶圆 种晶 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆电镀装置，其特征在于，包括支架、精密过滤机(1)、药缸(2)、立式泵(3)、精密喷镀盒(4)、气动压板(5)、精密电镀电源(6)、气缸(7)、双脉冲整流器，所述气缸(7)的一端固定在所述支架的上部且另一端连接在所述气动压板(5)的上面，所述精密喷镀盒(4)设置在所述支架的中部并位于所述气动压板(5)的正下方，所述精密过滤机(1)通过管道分别与所述药缸(2)、所述精密喷镀盒(4)相连，所述精密喷镀盒(4)内设置有阳极碳板，所述精密电镀电源(6)的正负极通过所述双脉冲整流器分别与所述气动压板(5)和所述阳极碳板电性连接。
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