[实用新型]一种芯片自动压盖设备的压合模组有效
申请号: | 201821830623.1 | 申请日: | 2018-11-06 |
公开(公告)号: | CN209119052U | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 林宜龙;刘飞;黄水清;吴松;林清岚;占勇;官声文 | 申请(专利权)人: | 深圳格兰达智能装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;黄华莲 |
地址: | 518109 广东省深圳市坪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种芯片自动压盖设备的压合模组,包括设于工作平台上的下压机构,下压机构包括两组单边下压组件,两组单边下压组件相对设置,单边下压组件包括下压垫板、下压气缸安装板、下压气缸以及下压臂,下压垫板设于工作平台的顶面,下压气缸安装板固定于下压垫板上,下压气缸竖直地固定于下压气缸安装板的一侧,下压臂设于下压气缸的上方并与下压气缸的活塞杆相连接,两组单边下压组件的下压臂之间连接有压合板。基于上述结构,该压合模组能够自动地完成芯片上盖与芯片压合,为提升芯片压盖工作的自动化程度提供最关键的技术支持,同时避免了人工压盖所带来的压合位置不准确、经常出现漏胶等问题,提高了完成品的合格率。 | ||
搜索关键词: | 下压气缸 下压组件 芯片 下压臂 压合模 垫板 两组 下压 工作平台 下压机构 压盖设备 安装板 压盖 安装板固定 本实用新型 技术支持 相对设置 压合位置 活塞杆 完成品 自动地 顶面 合板 漏胶 上盖 竖直 压合 有压 合格率 自动化 | ||
【主权项】:
1.一种芯片自动压盖设备的压合模组,其特征在于,包括下压机构,所述芯片自动压盖设备设有工作平台,所述下压机构设于所述工作平台上;所述下压机构包括两组单边下压组件,两组所述单边下压组件相对设置,所述单边下压组件包括下压垫板、下压气缸安装板、下压气缸以及下压臂,所述下压垫板设于所述工作平台的顶面,所述下压气缸安装板固定于所述下压垫板上,所述下压气缸竖直地固定于所述下压气缸安装板的一侧,所述下压臂设于所述下压气缸的上方并与所述下压气缸的活塞杆相连接,两组所述单边下压组件的下压臂之间连接有压合板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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