[实用新型]硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉远红外测温仪支撑工具

摘要

本实用新型公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉远红外测温仪支撑工具，包括支架，支架包括侧支架和中心支架，支架的底部设置有锁紧片，支架的上部固定设置有固定板，固定板的中心通过焊接的方式固定设置有阶梯轴，阶梯轴通过设置的轴承与旋转支架连接，旋转支架包括支承盘和L型板，支承盘的底部的外圆上设置有棘齿，L型板的竖直面上沿竖直方向设置有多个螺纹孔，螺纹孔内通过螺母固定设置有远红外测温仪，销轴孔内通过销轴设置有棘爪，棘爪通过棘爪复位簧与棘齿相配合；使用时，通过将支架安装在钟罩大螺栓上，通过棘齿棘爪调节远红外测温仪的角度，通过将远红外测温仪安装在不同螺纹孔内调节高度；本实用新型具有不易干扰、易于调节的优点。

主权项

1.硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉远红外测温仪支撑工具，包括支架（1），其特征在于：所述支架（1）由管型材加工而成，所述支架（1）包括侧支架（11）和中心支架（12），所述支架（1）的底部通过焊接的方式固定设置有锁紧片（101），所述锁紧片（101）呈圆槽形状，所述锁紧片（101）的右侧中心设置有圆孔（102），所述圆孔（102）的中心位于同一个圆弧上，所述支架（1）的上部由侧支架（11）和中心支架（12）组成一个等边三角形，所述支架（1）的上部通过焊接或螺栓连接的方式固定设置有固定板（2），所述固定板（2）的中心通过焊接的方式固定设置有阶梯轴（21），所述阶梯轴（21）的上部圆心处设置有内螺纹孔（201），所述固定板（2）的前部板面上设置有销轴孔（202），所述阶梯轴（21）上通过设置的轴承与旋转支架（3）连接，所述阶梯轴（21）的顶部通过设置的大垫圈和连接螺栓将固定板（2）和旋转支架（3）连接在一起，所述旋转支架（3）包括支承盘（31）和L型板（32），所述支承盘（31）的底部的外圆上设置有棘齿（3101），所述支承盘（31）的内部设置有轴承安装孔（301），所述支承盘（31）的上部固定设置有L型板（32），所述L型板（32）的水平面上设置有阶梯轴孔（302），所述轴承安装孔（301）与阶梯轴孔（302）同心，所述L型板（32）的竖直面上沿竖直方向设置有多个螺纹孔（303），所述螺纹孔（303）内通过螺母固定设置有远红外测温仪（4），所述销轴孔（202）内通过销轴设置有棘爪（5），所述棘爪（5）通过棘爪复位簧与棘齿（3101）相配合。