[实用新型]一种多晶硅片智能化清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅片智能化清洗装置，包括清洗筒、筒盖和承载部，所述承载部包括第一盛装篮、第二盛装篮和第三盛装篮，所述清洗筒内具有超声发生装置，所述清洗筒连接有进液管和出液管，所述进液管处具有第一阀门，所述出液管处具有第二阀门，所述筒盖内具有内腔，所述内腔通过管路连接有风机，所述管路处具有加热单元，所述筒盖下方固定有一排与所述内腔连通的喷嘴。本实用新型的清洗装置，清洗烘干效率高。

主权项

1.一种多晶硅片智能化清洗装置，其特征在于，包括清洗筒、筒盖和承载部，所述承载部包括第一盛装篮、第二盛装篮和第三盛装篮，所述第一盛装篮包括第一底板、与第一底板固定的圆环柱形的第一外侧壁部和与所述第一底板固定的圆环柱形的第一内侧壁部，所述第一外侧壁部的内圆周处具有多个竖直的第一外卡槽，所述第一内侧壁部的外圆周处具有多个竖直的第一内卡槽，所述第一外卡槽的数量等于第一内卡槽的数量，所述第一底板处具有多个第一弧形通孔；所述第二盛装篮包括第二底板、与第二底板固定的圆环柱形的第二外侧壁部和与所述第二底板固定的圆环柱形的第二内侧壁部，所述第二外侧壁部的内圆周处具有多个竖直的第二外卡槽，所述第二内侧壁部的外圆周处具有多个竖直的第二内卡槽，所述第二外卡槽的数量等于第二内卡槽的数量，所述第二底板处具有多个第二弧形通孔；所述第三盛装篮包括第三底板、与第三底板固定的圆环柱形的第三外侧壁和与所述第三底板固定的圆环柱形的第三内侧壁部，所述第三外侧壁部的内圆周处具有多个竖直的第三外卡槽，所述第三内侧壁部的外圆周处具有多个竖直的第三内卡槽，所述第三外卡槽的数量等于第三内卡槽的数量，所述第三底板处具有多个第三弧形通孔；所述第一底板处固定有第一提杆，所述第一提杆穿过第一内侧壁部、第二底板、第二内侧壁部、第三底板和第三内侧壁部，所述第二盛装篮和第三盛装篮能够相对于所述提杆滑动，所述第一、二、三底板均为圆形，所述第一底板的圆周处固定有第一固定环，所述第二底板的圆周处固定有第二固定环，所述第三底板的圆周处固定有第三固定环，所述第一固定环固定连接有多个第一定位柱，所述第二固定环固定连接有多个第二定位柱，所述第二固定环具有多个被所述第一定位柱穿过的第一定位孔，所述第三固定环具有多个被第二定位柱穿过的第二定位孔，所述第二固定环的下表面具有多个端部呈半球形的第一凸起，所述第三固定环的下表面具有多个端部呈半球形的第二凸起；所述清洗筒的内侧壁部固定有圆环形的第一承载环和圆环形的第二承载板，所述第一承载环的上表面具有用于放置所述第一凸起的第一圆环形滑槽，所述第二承载环的上表面具有用于放置所述第二凸起的第二圆环形滑槽，所述清洗筒的底部具有转轴，所述转轴连接有转盘，所述转盘处具有定位凸起，所述第一底板的下表面具有与所述定位凸起配合的定位凹槽，所述定位凸起和定位凹槽均为长方体形；所述清洗筒的内具有多个超声发生装置，所述清洗筒还具有驱动所述转轴转动的驱动机构，所述清洗筒连接有进液管和出液管，所述进液管处具有第一阀门，所述出液管处具有第二阀门，所述筒盖内具有内腔，所述内腔通过管路连接有风机，所述管路处具有加热单元，所述筒盖下方固定有一排与所述内腔连通的喷嘴。