[实用新型]一种用于控制半导体设备温度的冷热交换循环装置

摘要

本实用新型公开了一种用于控制半导体设备温度的冷热交换循环装置，所述装置设于一半导体设备中，所述装置包含：至少一制冷单元，所述制冷单元具有一制冷连接面及一发热连接面，其中，所述制冷连接面及所述发热连接面为平面、粗糙面、具有复数盲孔表面或者具有复数切沟表面，所述制冷单元的外侧设有至少二根导线；至少一第一冷热交换模块，所述第一冷热交换模块连接所述发热连接面或者所述制冷连接面，并具有至少一传导块、至少一传导管组件及一工作流体；一电源模块，通过所述导线电性连接所述制冷单元；及一控制模块，所述控制模块电性连接所述电源模块，并用来控制所述电源模块的供电量。本实用新型达到精准冷热补偿控制制程、机台温度的功效。

主权项

1.一种用于控制半导体设备温度的冷热交换循环装置，其特征在于，设于一半导体设备中，包含有：至少一制冷单元，所述制冷单元具有一制冷连接面和一发热连接面，其中，所述制冷连接面和所述发热连接面为平面、粗糙面、具有复数盲孔表面或者具有复数切沟表面的其中一种，所述制冷单元的外侧设有至少二根导线；至少一第一冷热交换模块，所述第一冷热交换模块连接所述发热连接面或者所述制冷连接面，并具有至少一传导块、至少一传导管组件及一工作流体，其中：所述传导块，是具有一传导面及一组接面，所述组接面穿设有复数组接孔和复数流道，所述流道与所述组接孔相连通，并形成复数循环回路；所述传导管组件，设置在并接触所述组接面，且具有至少一呈连续弯曲的热管，所述热管固定并接触所述传导块，且所述热管连接所述组接孔；所述工作流体，在所述传导管组件与所述流道中循环流动；一电源模块，通过所述导线电性连接所述制冷单元；及一控制模块，所述控制模块电性连接所述电源模块，并用以控制所述电源模块的供电量。