[实用新型]一种光电元器件加工用半导体氧化装置

摘要

本实用新型公开了一种光电元器件加工用半导体氧化装置，包括控制箱、推舟箱、加热箱、供气箱，所述推舟箱一侧设置有所述控制箱，所述推舟箱另一侧设置有所述加热箱，所述加热箱远离所述推舟箱的一侧设置有所述供气箱，所述控制箱、所述推舟箱、所述加热箱以及所述供气箱之间通过螺栓连接，所述推舟箱内部设置有安装板，所述安装板前部设置有晶舟，所述晶舟包括晶舟主体、所述挂耳、所述挂钩和所述隔板，所述晶舟主体内部设置有所述隔板，所述晶舟主体上方设置有所述挂耳，所述挂耳上设置有所述挂钩。优点在于：本实用新型在推舟箱和加热箱内设置有三个晶舟和加热管，以此能够对三批半导体晶片进行氧化处理，氧化速度快，生产效率高。

主权项

1.一种光电元器件加工用半导体氧化装置，其特征在于：包括控制箱、推舟箱、加热箱、供气箱，所述推舟箱一侧设置有所述控制箱，所述推舟箱另一侧设置有所述加热箱，所述加热箱远离所述推舟箱的一侧设置有所述供气箱，所述控制箱、所述推舟箱、所述加热箱以及所述供气箱之间通过螺栓连接，所述推舟箱内部设置有安装板，所述安装板前部设置有晶舟，所述晶舟包括晶舟主体、挂耳、挂钩和隔板，所述晶舟主体内部设置有所述隔板，所述晶舟主体上方设置有所述挂耳，所述挂耳上设置有所述挂钩，所述晶舟侧面设置有推板螺母，所述推板螺母内侧设置有丝杠，所述丝杠侧面设置有驱动电机，所述丝杠上方设置有滑杠，所述推舟箱前部设置有封闭门，所述封闭门上设置有观察窗，所述控制箱内部设置有控制器，所述控制箱前部设置有触摸屏，所述触摸屏下方设置有指示灯，所述加热箱内部设置有加热管，所述加热管上设置有氧气给气管，所述氧气给气管一侧设置有氢气给气管，所述氧气给气管另一侧设置有氮气给气管，所述加热管内侧设置有温度传感器，所述加热箱顶部设置有排气管，所述供气箱内部设置有氢气供气管，所述氢气供气管下方设置有氧气供气管，所述氧气供气管下方设置有氮气供气管，所述氢气供气管、所述氧气供气管以及所述氮气供气管上均设置有电磁阀，所述电磁阀侧面设置有气体压力表，所述温度传感器、所述气体压力表、所述指示灯、所述驱动电机、所述加热管、所述电磁阀和所述触摸屏与所述控制器电连接。