[实用新型]钙钛矿太阳能电池生产过程的在线监控设备

摘要

本实用新型涉及一种钙钛矿太阳能电池生产过程的在线监控设备，包括X射线光电子能谱分析系统、电子学系统以及分析统计系统，X射线光电子能谱分析系统包括X射线源、电子透镜以及电子能量分析器，在电子能量分析器内设置电子探测器，X射线源发射的X射线照射到钙钛矿太阳能电池基片表面产生光生电子，电子透镜接收到上述光电子并传输至电子探测器，电子探测器将探测到的光电子信号经过电子学系统传输至分析统计系统，分析统计系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。本实用新型通过监测钙钛矿薄膜的生产过程中的性能参数，控制其反应进程，提高各批次钙钛矿薄膜生产的重复性。

主权项

1.一种钙钛矿太阳能电池生产过程的在线监控设备，其特征在于，包括X射线光电子能谱分析系统、电子学系统以及分析统计系统，所述X射线光电子能谱分析系统的X射线光电子能谱数据经过电子学系统传输至分析统计系统，所述X射线光电子能谱分析系统包括X射线源、电子透镜以及电子能量分析器，在所述电子能量分析器内设置电子探测器，所述X射线源以及电子透镜分别设置在真空密封舱的两侧部，在所述真空密封舱内设置有加热钙钛矿太阳能电池基片的加热台，以及被蒸发控制系统控制的蒸发源，所述X射线源发射的X射线照射到钙钛矿太阳能电池基片表面产生光生电子，所述光生电子经电子透镜接收并传输至电子探测器，所述电子探测器将探测到的光电子信号经过电子学系统传输至分析统计系统，所述分析统计系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。