[实用新型]PVD镀膜基材承载装置有效
| 申请号： | 201821861897.7 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN209144251U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 刘峰 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 黄溪;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种PVD镀膜基材承载装置，包括夹持机构、真空吸附装置和用于承载基材的基材载体，基材载体竖向设置，夹持机构位于基材载体侧方并用于固定基材载体，真空吸附装置设置在夹持机构下方，且真空吸附装置用于吸附由基材载体上掉下的颗粒。本实用新型提供的PVD镀膜基材承载装置能够提高PVD镀膜产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 基材载体 基材承载装置 真空吸附装置 夹持机构 本实用新型 产品良率 承载基材 固定基材 竖向设置 侧方 掉下 吸附 | ||
【主权项】：
1.一种PVD镀膜基材承载装置，其特征在于，包括夹持机构、真空吸附装置和用于承载基材的基材载体，所述基材载体竖向设置，所述夹持机构位于所述基材载体侧方并用于固定所述基材载体，所述真空吸附装置设置在所述夹持机构下方，且所述真空吸附装置用于吸附由所述基材载体上掉下的颗粒。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都中电熊猫显示科技有限公司，未经成都中电熊猫显示科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821861897.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基片固定结构、夹具及夹持系统
- 下一篇：一种用于拉削刀具的PVD镀膜夹具
- 同类专利
- 专利分类
