[实用新型]一种磨头机构及应用该磨头机构的扩散片磨抛装置

摘要

本实用新型提供一种磨头机构及应用该磨头机构的扩散片磨抛装置，包括顶杆、磨盘、调节件、润滑件、连接件旋转台及抬升摆动杆；调节件设置于顶杆的一端上；润滑件设置于磨盘上，调节件的一端设置于润滑件内,且磨削加工时,磨盘连同润滑件相对调节件摆动；连接件滑动套设于顶杆上，且连接件的一端与磨盘可拆卸连接设置；通过将调节件的一端设置成球形状，球形状一端插设于圆锥轴承的内圈内，使得磨盘可在调节件上进行四周的摆动，当进行打磨时下方的转动台平面倾斜时磨盘可进行随转动台平面倾斜方向的自适应摆动，确保磨盘始终与转动台平面平行，保证扩散片的打磨厚度的均匀性，解决现有技术中的扩散片厚度的均匀性难以保证的技术问题。

主权项

1.一种磨头机构，包括顶杆(1)及磨盘(2)，其特征在于，还包括：调节件(3)，所述调节件(3)设置于所述顶杆(1)的一端上；润滑件(4)，所述润滑件(4)设置于所述磨盘(2)上，所述调节件(3)的一端设置于所述润滑件(4)内,且磨削加工时,所述磨盘(2)连同润滑件(4)相对调节件(3)摆动；以及连接件(5)，所述连接件(5)滑动套设于所述顶杆(1)上，且该连接件(5)的一端与所述磨盘(2)可拆卸连接设置。