[实用新型]一种抛光液循环利用的化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 201821871781.1 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209021902U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 章建群;汪选合;章慧云 | 申请（专利权）人： | 江西现代职业技术学院 |
| 主分类号： | B24B57/04 | 分类号： | B24B57/04 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 戴继翔 |
| 地址： | 330000 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种抛光液循环利用的化学机械抛光设备，包括抛光箱，所述抛光箱底部上端固定连接有转盘，所述转盘的上端固定安装有抛光垫，所述转盘的下端固定连接有转动轴，所述转动轴穿过抛光箱，所述转动轴下端固定连接有联轴器，所述联轴器的下端固定安装有电机，所述电机的下端固定连接有底架，所述抛光液箱右端固定安装有抛光液箱出液口，所述抛光箱右端固定连接有增压泵，所述抛光液箱出液口和增压泵进口处设置有另一连接管，所述增压泵上端出口处固定连接有抛光液滴管。该抛光液循环利用的化学机械抛光设备，在现有的化学机械抛光设备的基础上，进行了添加抛光液循环利用的装置，避免抛光液的浪费，节约成本，结构简单方便操作。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光液 化学机械抛光设备 循环利用 抛光箱 下端 转动轴 转盘 上端固定 出液口 联轴器 增压泵 电机 本实用新型 增压泵进口 滴管 方便操作 抛光垫 箱右端 上端 接管 穿过 节约 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液循环利用的化学机械抛光设备，包括抛光箱（1），其特征在于：所述抛光箱（1）底部上端固定连接有转盘（2），所述转盘（2）的上端固定安装有抛光垫（3），所述转盘（2）的下端固定连接有转动轴（4），所述转动轴（4）穿过抛光箱（1），所述转动轴（4）下端固定连接有联轴器（5），所述联轴器（5）的下端固定安装有电机（6），所述电机（6）的下端固定连接有底架（7），所述底架（7）的上端固定安装有抛光箱（1），所述抛光箱（1）上端固定连接有支撑平台（8），所述支撑平台（8）内贯穿连接有液压气缸（9），所述液压气缸（9）下端伸缩杆固定连接有研磨体（10），所述底架（7）前端固定连接有抛光液箱（11），所述抛光液箱（11）前端的上方固定安装有加液口（12），所述抛光液箱（11）左端固定连接有抛光液箱进液口（13），所述抛光箱（1）左端的下方固定连接有抛光箱出液口（14），所述抛光液箱进液口（13）和抛光箱出液口（14）间设置有连接管（15），所述抛光液箱（11）右端固定安装有抛光液箱出液口（16），所述抛光箱（1）右端固定连接有增压泵（17），所述抛光液箱出液口（16）和增压泵（17）进口处设置有另一连接管（15），所述增压泵（17）上端出口处固定连接有抛光液滴管（18）。
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