[实用新型]一种检测薄膜太阳能电池基板的检测装置有效
| 申请号： | 201821871858.5 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN209169108U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 王志海;邝斌;周同;戴春田;陈金良;齐鹏飞 | 申请（专利权）人： | 中山瑞科新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 李旭亮 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测薄膜太阳能电池基板的检测装置，包括：工件输送通道，所述工件输送通道用于供待检测的太阳能电池基板在其内穿过；至少两组光电检测机构，所述光电检测机构设置于所述工件输送通道的一侧或两侧，其中一组光电检测机构能够检测未镀膜的太阳能电池基板和已镀膜的太阳能电池基板，另一组光电检测机构只能够检测已镀膜的太阳能电池基板；控制系统，所述控制系统与所有的光电检测机构电性连接，该控制系统用于接收所有的光电检测机构反馈的检测信息。因此控制系统可根据接收到的光电检测机构的反馈信号，进而判断太阳能电池基板是否镀膜，不但简单方便，而且准确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 光电检测机构 太阳能电池基板 控制系统 镀膜 工件输送通道 薄膜太阳能电池 检测装置 种检测 基板 检测 本实用新型 电性连接 反馈信号 检测信息 两组 穿过 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种检测薄膜太阳能电池基板的检测装置，其特征在于，包括：工件输送通道(10)，所述工件输送通道(10)用于供待检测的太阳能电池基板在其内穿过；至少两组光电检测机构，所述光电检测机构设置于所述工件输送通道(10)的一侧或两侧，其中一组光电检测机构能够检测未镀膜的太阳能电池基板和已镀膜的太阳能电池基板，另一组光电检测机构只能够检测已镀膜的太阳能电池基板；控制系统，所述控制系统与所有的光电检测机构电性连接，该控制系统用于接收所有的光电检测机构反馈的检测信息。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
