[实用新型]晶体生长安瓿位置调节装置及系统有效
申请号: | 201821880293.7 | 申请日: | 2018-11-14 |
公开(公告)号: | CN209010637U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 樊龙;肖婷婷;彭丽萍;黎维华;阎大伟;吴卫东;沈昌乐;蒋涛;湛治强 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 王正楠 |
地址: | 621000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种晶体生长安瓿位置调节装置及系统,涉及安瓿位置调节技术领域。一种晶体生长安瓿位置调节装置,包括支撑组件、热电偶和位置调节组件。位置调节组件通过支撑杆与支撑组件连接,用于在水平和竖直方向移动和定位支撑组件。支撑组件包括套筒、热电偶杆、陶瓷杆以及固定塞,套筒的两端设有开口,开口设有固定塞,陶瓷杆的一端穿过固定塞设置于套筒的内部,热电偶杆穿设于陶瓷杆内。热电偶设置于套筒内。实现了安瓿在径向温度场中的位置调节,避免不对称径向温度场对晶体生长的影响,避免了安瓿与发热体直接接触,提高晶体质量和产率。该装置结构简单、安装调试方便,并可对生长过程中安瓿温度进行实时监控。 | ||
搜索关键词: | 热电偶 套筒 晶体生长安瓿 位置调节装置 支撑组件 固定塞 陶瓷杆 安瓿 位置调节组件 径向温度场 开口 定位支撑组件 竖直方向移动 本实用新型 安装调试 安瓿位置 晶体生长 生长过程 实时监控 位置调节 装置结构 不对称 发热体 支撑杆 产率 穿设 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种晶体生长安瓿位置调节装置,其特征在于,包括支撑组件,包括套筒、热电偶杆、陶瓷杆以及固定塞,所述套筒的两端设有开口,所述开口设有所述固定塞,所述陶瓷杆的一端穿过所述固定塞设置于所述套筒的内部,所述热电偶杆穿设于所述陶瓷杆内;热电偶,所述热电偶的热电偶丝穿设于所述热电偶杆,所述热电偶测温点设置于所述热电偶杆位于所述套筒内的一端;位置调节组件,所述位置调节组件通过支撑杆与所述支撑组件连接,用于在水平和竖直方向移动和定位所述支撑组件。
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