[实用新型]一种电浆辅助化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种电浆辅助化学气相沉积设备，包括外腔，所述外腔内部设有内腔，所述内腔顶部固定连接有电浆板，所述内腔底部设有基板且基板底部通过电动伸缩杆与内腔连接，所述外腔表面设有气压测量仪和报警器且气压测量仪位于报警器一侧，所述气压测量仪与报警器电信连接，所述外腔表面下部设有角度测量仪。本实用新型通过调节基板底部两侧的电动伸缩杆的长短，可对基板的角度改变，方便将基板表面的物质更好的粘接在电浆板表面，避免物体浪费，气压测量仪能对内腔中的气压检测，当内腔中的气压过高时，报警器会发出声音，方便及时连接，避免内腔中因气压过大导致爆炸，保证设备使用的安全性。

主权项

1.一种电浆辅助化学气相沉积设备，包括外腔(1)，其特征在于：所述外腔(1)内部设有内腔(2)，所述内腔(2)顶部固定连接有电浆板(8)，所述内腔(2)底部设有基板(7)且基板(7)底部通过电动伸缩杆(6)与内腔(2)连接，所述外腔(1)表面设有气压测量仪(12)和报警器(11)且气压测量仪(12)位于报警器(11)一侧，所述气压测量仪(12)与报警器(11)电信连接，所述外腔(1)表面下部设有角度测量仪(13)。