[实用新型]一种单晶硅棒开方机

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅棒开方机，包括料车装置、机械手装置、夹持装置及双边线锯运行装置，夹持装置包括单晶硅棒夹持机构；单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构；尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置，且二者均设置有传感器；单晶硅棒夹持机构驱动机构用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离；双边线锯运行装置包括两个线锯切割机构、第一线锯切割机构驱动机构及第二线锯切割机构驱动机构；两个线锯切割机构分别设置于夹持装置的两侧处；料车装置设置于夹持装置的一侧；机械手装置用于抓取单晶硅棒。本实用新型具有单晶硅棒被切割前后晶线保持准确对正状态的优点。

主权项

1.一种单晶硅棒开方机，其特征在于，包括机械手装置、夹持装置及双边线锯运行装置，所述夹持装置包括单晶硅棒夹持机构；所述单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构；所述尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置，用于夹持和旋转单晶硅棒；所述单晶硅棒夹持机构驱动机构设置于尾端夹持机构和前端夹持机构之间，用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离；所述尾端夹持机构和前端夹持机构均设置有传感器，所述传感器用于扫描单晶硅棒的形状特征；所述双边线锯运行装置包括两个线锯切割机构、第一线锯切割机构驱动机构及第二线锯切割机构驱动机构；两个线锯切割机构分别设置于夹持装置的两侧处；所述第一线锯切割机构驱动机构用于驱动线锯切割机构沿夹持装置移动切割单晶硅棒；所述第二线锯切割机构驱动机构用于根据传感器的扫描结果所计算得出的晶线所处位置驱动两个线锯切割机构相对靠近或远离；所述机械手装置设置于夹持装置上方，用于抓取单晶硅棒。