[实用新型]一种新型清洗装置有效
| 申请号： | 201821892421.X | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN209715934U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 赵振伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/023 | 分类号： | B08B9/023 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律师事务所 | 代理人： | 俞涤炯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型清洗装置，应用于清洗波纹管，包括清洗杆，所述清洗杆的第一端设置有喷嘴；进水管道，所述进水管道的第一端与所述清洗杆的第二端连通；所述喷嘴的表面设置有复数个通孔。其优点在于，在波纹管一侧设置清洗装置，并利用喷嘴对准波纹管，能够及时清理残余在波纹管上的CMP研磨液，避免CMP研磨液在波纹管上结晶，减少CMP研磨液对波纹管的腐蚀，从而避免出现漏液等情况，提高波纹管使用寿命，提高产品良率，降低生产成本；清洗液通过喷嘴的多个通孔，形成雾状清洗液，能够均匀有效地清洗波纹管，并且降低清洗液压力对波纹管造成的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 波纹管 喷嘴 清洗杆 研磨液 进水管道 清洗装置 第一端 通孔 本实用新型 清洗液压力 雾状清洗液 有效地清洗 表面设置 产品良率 喷嘴对准 使用寿命 清洗液 复数 漏液 连通 清洗 损伤 腐蚀 应用 | ||
【主权项】：
1.一种新型清洗装置，应用于清洗波纹管，其特征在于，包括：/n清洗杆(1)，所述清洗杆(1)的第一端设置有喷嘴(2)；/n进水管道(3)，所述进水管道(3)的第一端与所述清洗杆(1)的第二端连通；/n所述喷嘴(2)的表面设置有复数个通孔(4)。/n
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