[实用新型]花篮内循环装置有效
申请号: | 201821892794.7 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN209374418U | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 殷海霞 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及自动化设备领域,具体涉及一种花篮内循环装置。本实用新型的花篮内循环装置,储料组件对花篮进行储存和送料,升降组件对花篮进行上下搬运花篮,搬运组件对装载有硅片的花篮进行进出料,上使得花篮送至指定位置,等待机器人或其他结构将产品取走。由此,本实用新型的自动上下料结构,实现机械化智能化,解放人力,安装方便,工作效率高,替代了人工操作方式,进而提高了后续装配速度与效率,上述通过将搬运组件、升降组件以及储料组件依次设置在机架上,节约空间,体积较小,集成度高,在提高传输效率同时,还能够对减小系统宕机的几率。 | ||
搜索关键词: | 花篮 本实用新型 内循环装置 搬运 储料组件 升降组件 自动上下料结构 人工操作方式 工作效率高 自动化设备 安装方便 传输效率 节约空间 依次设置 集成度 进出料 智能化 硅片 减小 送料 宕机 装配 机器人 机械化 装载 储存 替代 | ||
【主权项】:
1.一种花篮内循环装置,其特征在于,包括机架,所述机架上设置有两个用于装载花篮的储料组件、多个升降组件以及搬运组件,所述花篮上堆叠有硅片,所述搬运组件、升降组件以及储料组件依次设置在所述机架上,所述机架上设置有隔板,所述隔板将所述机架分割成两个储物空间,两储料组件分别设置在两个储物空间上;所述储料组件包括两组储物传送链,两储物传送链平行设置,所述储物传送链包括两储料输送线,两储料输送线之间设置有第一过渡惰轮组件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造