[实用新型]一种用于太阳能电池的高纯多晶硅提纯装置

摘要

本实用新型属于半导体材料制备领域，具体涉及一种用于太阳能电池的高纯多晶硅提纯装置，包括：熔炼造渣装置、阶梯除磷装置、分步氧化装置和精炼凝固装置。本实用新型将硅液经造渣除杂后，进入阶梯除磷装置，当硅液从硅液流槽口流出时，用电子枪的高能电子束轰击从槽口流出的硅液，从而快速的除去硅液中的磷杂质。在分步氧化装置内用不同的精练气体分步作用，除去硅液中的杂质硼、碳、金属等杂质，再通过脱气精练、定向凝固后，切除硅锭的高杂质部分，得到高纯度的太阳能级多晶硅产品，实现高纯多晶硅的连续工业化生产。

主权项

1.一种用于太阳能电池的高纯多晶硅提纯装置，其特征在于，包括：熔炼造渣装置，其中部设置有电磁感应加热器，所述电磁感应加热器内部装有熔炼坩埚，所述熔炼坩埚上方设置有硅加料器和造渣剂加料器，所述坩埚底部设置有第一硅液开关，所述第一硅液开关下方的熔炼造渣装置底部设置有第一阀门；阶梯除磷装置，其设置于熔炼造渣装置下方，所述第一阀门正下方设置有第一贮槽，所述第一贮槽底部设置有第二硅液开关，所述第二硅液开关下方设置有依次斜向下排列的若干个硅液流槽，所述硅液流槽倾斜设置且在每个硅液流出方向一侧分别设置有电子枪，所述阶梯除磷装置下方设置有接收暂存硅液的第二贮槽，所述第二贮槽底部设置有第三硅液开关，所述第三硅液开关下方的阶梯除磷装置底部设置有第二阀门；分步氧化装置，其设置于阶梯除磷装置下方，所述分布氧化装置内设置有带不同精炼气体的第一区、第二区、第三区和第四区，所述分步氧化装置内设置有若干个用于装载硅液进行氧化氧化坩埚，所述氧化坩埚按顺序经过第一区、第二区和第三区进行氧化，所述第二阀门设置于第一区上方，所述第四区下方的分步氧化装置底部设置有第三阀门；精炼凝固装置，其设置于分步氧化装置下方，所述精炼凝固装置一侧连通第三阀门，所述第三阀门下方设置有可移动的精炼坩埚且另一侧精炼凝固装置的底部设置有定向凝固底模，所述精炼坩埚底部设置有精炼气体喷嘴，所述精炼坩埚当硅液达到定量后精炼坩埚移入到定向凝固底模上方，所述定向凝固底模下方设置有可带动凝固底模向下移动的拉环系统；冶金级硅经由造渣除杂、阶梯除磷、分步氧化除杂和脱气精炼、定向凝固，将硅锭的高杂质部分切除得到太阳能级多晶硅。