[实用新型]一种可远程交互的半导体综合参数测试设备

摘要

本实用新型提出一种可远程交互的半导体综合参数测试设备，包括控制系统、电流检测模块、电压检测模块、C‑V测试单元、高精度DDS模块、显示屏、通信接口、图像处理模块、电流源、电压源、摄像头、无线通讯模块及复用接口组件，电流检测模块、电压检测模块、C‑V测试单元、高精度DDS模块任意两者之间通过控制系统切换；电流检测模块上连接有电流检测接口，电压检测模块上连接有电压检测接口，C‑V测试单元上连接有电容检测接口，高精度DDS模块上连接有信号输出口，电流源上连接有电流输出口，电压源上连接有电压输出口。本实用新型兼具电流检测、电压检测、电源、数字信号发生器等多种功能，结构紧凑、体积小，具有远程交互功能。

主权项

1.一种可远程交互的半导体综合参数测试设备，其特征在于：包括控制系统、电流检测模块、电压检测模块、C‑V测试单元、高精度DDS模块、显示屏、通信接口、图像处理模块、电流源、电压源、摄像头和无线通讯模块，所述电流检测模块、所述电压检测模块、所述C‑V测试单元、所述高精度DDS模块、所述电流源、所述电压源、所述显示屏、所述通信接口分别与所述控制系统电性连接，所述电流检测模块、所述电压检测模块、所述C‑V测试单元、所述高精度DDS模块任意两者之间通过所述控制系统实现切换；所述电流检测模块上连接有电流检测接口，所述电压检测模块上连接有电压检测接口，所述C‑V测试单元上连接有电容检测接口，所述高精度DDS模块上连接有信号输出口，所述电流源上连接有电流输出口，所述电压源上连接有电压输出口，所述摄像头通过所述图像处理模块与所述控制系统连接；所述电流检测接口、所述电压检测接口、所述电容检测接口、所述信号输出口、所述电压输出口、所述电流输出口分别连接有复用接口组件，所述复用接口组件包括复用接口一、复用接口二、复用接口三、复用接口四；所述可远程交互的半导体综合参数测试设备通过所述无线通讯模块与学生电脑或手机客户端经由互联网进行远程连接。