[实用新型]一种高品质硅片清洗系统有效
| 申请号： | 201821903645.6 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN210187873U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王冬雪;高树良;谷守伟;赵越;崔伟;侯建明;郭志荣;郭俊文 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种高品质硅片清洗系统，包括第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、酸洗部和第二溢流清洗部，第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、酸洗部和第二溢流清洗部依次设置，通过移动抓取装置连通。本实用新型的有益效果是大尺寸硅片清洗更加方便快捷，且硅片清洗效率高，采用预清洗、药液清洗、溢流漂洗、药液清洗、酸洗和溢流清洗，能够有效去除硅片表面的杂质，提高硅片的表面清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质 硅片 清洗 系统 | ||
【主权项】：
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