[实用新型]一种离子迁移管的可更换电离源装置有效

专利信息
申请号: 201821908864.3 申请日: 2018-11-20
公开(公告)号: CN209045486U 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 仓怀文;李海洋;李京华;王卫国 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 马驰
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型一种离子迁移管的可更换电离源装置采用统一的接口,共用一个迁移管体将放射源、放电、射频VUV灯光电离与直流VUV灯光电离四种不同的电离源有机的结合在一起,实现电离源自由更换的目的,节省了成本,扩展了离子迁移管的应用范围。
搜索关键词: 电离源 离子迁移管 电离 可更换 本实用新型 放射源 灯光 自由更换 迁移管 放电 射频 应用 统一
【主权项】:
1.电离源装置,其特征在于:包括由圆形绝缘环和圆环状推斥电极构成的连接架,推斥电极右侧端面与绝缘环的左侧端面密闭连接;于推斥电极左侧端面向远离反应区绝缘环方向设有带内螺纹的圆环状突起,于靠近推斥电极一端的圆环状突起内壁面上沿径向设有一圆环状凸台,形成台阶形通孔;圆环状凸台、圆环状突起、绝缘环推斥电极、绝缘环中部通孔相连通;还包括可分别与连接架进行拆卸或安装的放射源电离源、放电电离源、光电离源;其中光电离源分为射频VUV灯光电离源和直流VUV灯光电离源;不同电离源可通过机械连接分别嵌入台阶形通孔内,推斥电极为中空的环状结构,中心圆孔为离子引出或光路通道;放射源电离源包括一密闭的中空圆筒状腔体,作为放射源腔体,左侧壁面上设有进气口,右侧壁面中部设有与推斥电极中心通孔相连通的通孔;放射源片放置于放射源腔体内,并弯折成与推斥电极中心通孔同轴的圆环状;在腔体外壁沿径向设有带外螺纹的凸环,螺合嵌入台阶形通孔内;放电电离源包括放电圆环,放电圆环嵌入到圆环状凸台内,放电针固定架为一右端开口、左端密闭的筒体,右开口端面向放电圆环的左侧表面,放电针穿过固定架左侧密闭端插入筒体内,于固定架左侧密闭端的放电针四周设有出气口;带有外螺纹的放电针固定架螺合嵌入台阶形通孔内;射频VUV灯光电离源由射频灯压环和射频灯组成;射频灯嵌入台阶形通孔内,带有外螺纹的射频灯压环套在射频灯上与台阶形通孔螺合;射频灯的灯窗正对着与推斥电极的中心圆孔;直流VUV灯光电离源由灯固定环和直流灯组成;直流灯直接嵌入台阶形通孔内,带有外螺纹的灯固定环套在直流灯上与台阶形通孔螺合;直流灯的灯窗正对着与推斥电极的中心圆孔。
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