[实用新型]一种半导体的晶圆盒的悬挂式搬运设备

摘要

一种半导体的晶圆盒的悬挂式搬运设备，包括天车、夹取装置、影像撷取装置及控制系统。天车可活动的安装于天车轨道，并能够悬停于基准平台或装卸口上方。夹取装置可活动的安装于天车，并能够夹持晶圆盒以及相对于天车升降。影像撷取装置对正的安装于夹取装置，影像撷取装置具有标准图像，当天车悬停于基准平台上方时，影像撷取装置撷取包括基准平台的影像，作为基准影像；当天车悬停于装卸口上方时，影像撷取装置撷取包括装卸口的影像，作为装卸口的影像。控制系统，能够获得补偿值，并能够基于补偿值校正夹取装置，使得夹取装置与装卸口对正，其中，补偿值为标准图像与装卸口的影像之间的偏移量。

主权项

1.一种半导体的晶圆盒的悬挂式搬运设备，用于将承载有半导体的晶圆盒输送至装卸口，其特征在于，所述悬挂式搬运设备包括：天车，可活动的安装于天车轨道，并能够悬停于基准平台或装卸口上方；夹取装置，可活动的安装于所述天车，并能够夹持晶圆盒以及相对于所述天车升降；影像撷取装置，对正的安装于所述夹取装置，所述影像撷取装置具有标准图像，当所述天车悬停于所述基准平台上方时，所述影像撷取装置撷取包括所述基准平台的影像，作为基准影像；当所述天车悬停于所述装卸口上方时，所述影像撷取装置撷取包括所述装卸口的影像，作为装卸口影像；及控制系统，能够获得补偿值，并能够基于所述补偿值校正所述夹取装置，使得所述夹取装置与所述装卸口对正，其中，所述补偿值为所述标准图像与所述装卸口影像之间的偏移量。