[实用新型]一种硅片生产用尺寸检测机构有效
申请号: | 201821917149.6 | 申请日: | 2018-11-20 |
公开(公告)号: | CN209631632U | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 赵续凯 | 申请(专利权)人: | 西安科技成果转化工程有限公司 |
主分类号: | B07C5/02 | 分类号: | B07C5/02;B07C5/06;B07C5/36 |
代理公司: | 61233 西安科果果知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 李倩<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 710075陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及一种硅片生产用尺寸检测机构,包括底板、检测台、调节机构和警报机构,所述底板上端面的中部安装有检测台,检测台与底板之间安装有调节机构,调节机构的右侧面安装有警报机构,底板的上端安装有检测台,检测台的下端面沿其周向方向均匀安装有支撑柱,支撑柱的下端安装在底板的上端面,检测台的上端面沿其周向方向均匀设有检测电动推杆。本实用新型可以解决人工对硅片尺寸进行检测时存在的硅片固定困难、人工检测效率低、需要再次计算尺寸是否在允许误差范围内、人工检测错误率高和合格产品与不合格产品容易混淆等问题,可以实现对硅片尺寸的高效检测,具有操作简单、检测准确率高、检测效率高和合格产品与不合格产品区分便捷等优点。 | ||
搜索关键词: | 检测台 底板 硅片 检测 本实用新型 不合格产品 合格产品 警报机构 人工检测 上端面 支撑柱 上端 电动推杆 高效检测 均匀安装 允许误差 错误率 下端面 右侧面 准确率 下端 混淆 生产 | ||
【主权项】:
1.一种硅片生产用尺寸检测机构,包括底板(1)、检测台(2)、调节机构(3)和警报机构(4),其特征在于:所述底板(1)上端面的中部安装有检测台(2),检测台(2)与底板(1)之间安装有调节机构(3),调节机构(3)的右侧面安装有警报机构(4);其中:/n所述底板(1)的上端安装有检测台(2),检测台(2)的下端面沿其周向方向均匀安装有支撑柱(21),支撑柱(21)的下端安装在底板(1)的上端面,检测台(2)的上端面沿其周向方向均匀设有检测电动推杆(22),检测电动推杆(22)的顶端安装有放置板(23),放置板(23)的中部设有圆孔,圆孔内安装有吸盘(24);/n所述的调节机构(3)包括转动支链(31),检测台(2)下端面的中部安装有转动支链(31),转动支链(31)的侧壁上螺纹连接有调节支链(32);/n所述的转动支链(31)包括螺纹筒(311),检测台(2)下端面的中部安装有螺纹筒(311),螺纹筒(311)的内部为中空结构且内部设有螺纹槽,螺纹筒(311)内螺纹连接有螺杆(312),螺杆(312)的下端安装有连接板(313),连接板(313)的下端面与转动电机(314)的输出轴相连接,转动电机(314)通过电机座安装在支撑板(315)的上端面,支撑板(315)的下端面沿其周向方向均匀设有支撑弹簧(316),支撑弹簧(316)的下端与底板(1)相连接;/n所述的警报机构(4)包括微调支链(41),调节机构(3)的上端安装有微调支链(41),微调支链(41)的上端安装有警报支链(42)。/n
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