[实用新型]一种带真空传感器的显微镜

摘要

本实用新型公开了一种带真空传感器的显微镜，包括支架、安装板、底座、三通管和侧板，所述底座顶部固定安装有侧板，侧板的前端外表面固定安装支架，支架内部开设有滑槽，支架顶部与底部均设有与滑槽相通的开口，支架的滑槽内滑动安装有第一滑块和第二滑块，支架的顶部两侧固定安装有第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆，第一滑块的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第一移动块，第一电动伸缩杆的自由端与第一移动块的一侧连接，本实用新型结构简单，操作方便，在转运过程中能够检测到真空筒内的真空值，从而避免真空值过低而导致晶圆片掉落造成晶圆片损坏，减少了对工作人员的工作困扰。

主权项

1.一种带真空传感器的显微镜，包括支架(2)、安装板(9)、底座(13)、三通管(21)和侧板(28)，其特征在于，所述底座(13)顶部固定安装有侧板(28)，侧板(28)的前端外表面固定安装支架(2)，支架(2)内部开设有滑槽，支架(2)顶部与底部均设有与滑槽相通的开口，支架(2)的滑槽内滑动安装有第一滑块(5)和第二滑块(7)，支架(2)的顶部两侧固定安装有第一电动伸缩杆(1)和第二电动伸缩杆(8)，第一滑块(5)的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第一移动块(3)，第一电动伸缩杆(1)的自由端与第一移动块(3)的一侧连接，第二滑块(7)的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第二移动块(6)，第一电动伸缩杆(1)的自由端与第二移动块(6)的一侧连接，第一滑块(5)的底部通过安装件贯穿开口固定安装有工作机箱(18)，工作机箱(18)的前端外表面固定安装有观察筒(27)，工作机箱(18)底部固定安装有倍镜筒(17)，底座(13)顶部设有腔体(15)，腔体(15)的内侧底部固定安装有聚光灯(14)，腔体(15)的顶部固定安装有透光镜(16)，底座(13)一侧固定安装有放置盒(12)，第二滑块(7)的底部通过安装件贯穿开口固定安装有安装板(9)，安装板(9)的底部固定安装有第三电动伸缩杆(19)，第三电动伸缩杆(19)的自由端固定安装有真空筒(25)，真空筒(25)底部固定安装有吸盘(24)，真空筒(25)的一侧固定安装有三通管(21)，安装板(9)底部固定安装有真空泵(10)，真空泵(10)的输出端固定安装有软管(20)的一端，软管(20)的自由端与三通管(21)的一端连接，三通管(21)内固定安装有真空传感器(22)，安装板(9)底部一侧固定安装有光纤传感器(11)，底座(13)前端外表面固定安装有控制器(26)。