[实用新型]一种表面粗糙度测量装置有效

专利信息
申请号: 201821922495.3 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN208887611U 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: 徐燕华;沈思情;张俊宝;陈猛 申请(专利权)人: 上海超硅半导体有限公司
主分类号: G01B21/30 分类号: G01B21/30
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201617 上海市松*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种表面粗糙度测量装置,其属于机械加工技术领域,包括测量平台、垫片和粗糙度仪,测量平台的上表面开设有容置槽,待测件位于容置槽内且待测件的至少一侧与容置槽的内壁抵接;垫片位于容置槽内且支撑于待测件的下方,待测件的被测面与测量平台的上表面平齐;粗糙度仪设置于测量平台上,粗糙度仪的工作面与测量平台的上表面平齐。通过容置槽为待测件提供容置空间,且能够对待测件定位,防止待测件移位;通过垫片调整待测件的位置,使得待测件的被测面与测量平台的上表面平齐,进而粗糙度仪的工作面能够与被测面抵接,降低粗糙度仪的磨损程度,提高测量结果的准确性,保证了测试的方便快捷、重复性高。
搜索关键词: 待测件 容置槽 测量 上表面 被测面 粗糙度 平齐 表面粗糙度测量装置 粗糙度仪 抵接 垫片 机械加工技术 本实用新型 垫片调整 容置空间 移位 内壁 磨损 测试 支撑 保证
【主权项】:
1.一种表面粗糙度测量装置,其特征在于,包括:测量平台(1),所述测量平台(1)的上表面开设有容置槽(11),待测件(10)位于所述容置槽(11)内且所述待测件(10)的至少一侧与所述容置槽(11)的内壁抵接;垫片(2),位于所述容置槽(11)内且支撑于所述待测件(10)的下方,所述待测件(10)的被测面与所述测量平台(1)的上表面平齐;粗糙度仪(3),设置于所述测量平台(1)上,所述粗糙度仪(3)的工作面与所述测量平台(1)的上表面平齐。
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