[实用新型]一种石英炉管的管口密封结构及石英炉管有效
申请号: | 201821922665.8 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN209098809U | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 韩树果;孙贤;乔勇 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513;H01L31/18;H01L21/223 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于太阳能电池片制造技术领域,公开了一种石英炉管的管口密封结构及石英炉管,石英炉管的管口密封结构包括炉门法兰、冷却环及密封圈,其中,炉门法兰连接于管口外周,冷却环的内部开设有冷却腔体;密封圈套设于冷却环的外周,能够与炉门法兰相抵。本实用新型通过在炉管本体的管口外周连接冷却环,并在冷却环的外周套设能够与炉门法兰相抵的密封圈,能够有效地将炉管本体与炉门法兰之间密封,且冷却环直接冷却密封圈的靠近炉管本体的一侧,能够有效降低密封圈靠近炉管本体区域的温度,提高密封圈寿命。 | ||
搜索关键词: | 冷却环 炉门法兰 石英炉管 密封圈 炉管 管口密封 本实用新型 相抵 太阳能电池片 密封圈寿命 冷却腔体 密封圈套 外周套设 直接冷却 有效地 外周 密封 制造 | ||
【主权项】:
1.一种石英炉管的管口密封结构,包括设置于炉管本体(1)的管口(11)处的炉门法兰,其特征在于,所述管口密封结构还包括:冷却环(2),连接于所述管口(11)的外周,所述冷却环(2)的内部开设有冷却腔体(21);及密封圈(3),套设于所述冷却环(2)的外周,能够与所述炉门法兰相抵。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的