[实用新型]晶圆传输机构及半导体生产设备

摘要

本实用新型提供一种晶圆传输机构及半导体生产设备，晶圆传输机构包括晶圆传输末端执行器，晶圆传输末端执行器包括：主体，主体具有支撑手臂，支撑手臂的自由端的内侧面及主体的闭合端的内侧面具有与主体的水平面垂直的垂直面，且垂直面围成凹槽，凹槽的直径大于晶圆的直径；连接部，连接部的一端与主体的闭合端连接。通过垂直面，可消除晶圆侧壁与晶圆传输末端执行器接触产生微粒，有效拉长晶圆传输机构的清洁周期，减小晶圆的损伤；另外，通过在晶圆传输末端执行器内部设置连通的真空管路，使用抽真空的方式吸附晶圆，可实现晶圆的快速传输且进一步减少微粒产生。

主权项

1.一种晶圆传输机构，其特征在于，所述晶圆传输机构包括晶圆传输末端执行器，所述晶圆传输末端执行器包括：主体，所述主体具有支撑手臂，所述支撑手臂的自由端的内侧面及所述主体的闭合端的内侧面具有与所述主体的水平面垂直的垂直面，且所述垂直面围成凹槽，所述凹槽的直径大于晶圆的直径；连接部，所述连接部的一端与所述主体的闭合端连接。