[实用新型]游星轮有效
申请号: | 201821934885.2 | 申请日: | 2018-11-22 |
公开(公告)号: | CN209036279U | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 王惠玲;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 西安贝诺茵电子科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/27 | 分类号: | B24B37/27 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710117 陕西省西安市高新区细*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及光学及电子元件平面抛光技术领域,公开了游星轮,包括轮盘本体,所述轮盘本体圆周面为齿圈,所述轮盘本体圆平面开设有若干几何形状的型腔,所述轮盘本体为金属轮盘,所述型腔内孔涂覆有一圈非金属层。通过采用上述技术方案,轮盘本体选用金属轮盘,保证了游星轮的整体强度,降低了轮齿的损耗速度、不易变形不易破裂,同时在型腔内孔涂覆有一圈非金属层,防止在与工件发生磕碰时磕损工件,在加工工程中降级废品率,非金属层仅仅涂覆于型腔内孔,减小额外对轮盘本体增加的厚度,适用于超薄工件的加工。 | ||
搜索关键词: | 轮盘 非金属层 游星轮 腔内 涂覆 金属轮盘 本实用新型 不易变形 超薄工件 平面抛光 圆平面 圆周面 磕碰 齿圈 减小 轮齿 加工 降级 破裂 保证 | ||
【主权项】:
1.游星轮,包括轮盘本体(1),所述轮盘本体(1)圆周面为齿圈(2),所述轮盘本体(1)圆平面开设有若干几何形状的型腔(3),其特征在于,所述轮盘本体(1)为金属轮盘,所述型腔(3)内孔涂覆有一圈非金属层(4)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安贝诺茵电子科技有限公司,未经西安贝诺茵电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821934885.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:吸附式研磨工件装载托盘
- 下一篇:化学机械抛光系统及晶圆的后处理单元