[实用新型]用于真空镀膜机的视口有效
申请号: | 201821939129.9 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN209162184U | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | 乔利杰;宋述兵;王瑞俊;郑宝林 | 申请(专利权)人: | 山东司莱美克新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 马俊荣 |
地址: | 256401 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于真空镀膜机技术领域,具体涉及一种用于真空镀膜机的视口,包括壳体,壳体设有观察口,观察口外通过端盖固定有第一玻片,壳体内设有挡板,所述的挡板通过转轴与壳体转动连接,壳体顶部设有密封盒,密封盒上设有顶盖,密封盒内设有旋转密封,所述的转轴贯穿密封盒和顶盖,转轴顶端设有拨杆。本实用新型所述用于真空镀膜机的视口,设计合理结构简单,通过两层防护,可以防止真空镀膜机长时间使用后,视口被靶材污染的情况出现,避免视口变模糊,保证正常工作的进行;并且避免对视口进行清理,减少了人工成本,降低了工作流程的繁琐性。 | ||
搜索关键词: | 视口 真空镀膜机 密封盒 本实用新型 挡板 顶盖 壳体 转轴 设计合理结构 靶材污染 工作流程 壳体顶部 壳体转动 两层防护 人工成本 旋转密封 真空镀膜 转轴顶端 繁琐性 观察口 玻片 拨杆 端盖 体内 模糊 贯穿 观察 保证 | ||
【主权项】:
1.一种用于真空镀膜机的视口,其特征在于:包括壳体(6),壳体(6)设有观察口,观察口外通过端盖(5)固定有第一玻片(9),壳体(6)内设有挡板(4),所述的挡板(4)通过转轴(2)与壳体(6)转动连接,壳体(6)顶部设有密封盒(6.1),密封盒(6.1)上设有顶盖(3),密封盒(6.1)内设有旋转密封(2.1),所述的转轴(2)贯穿密封盒(6.1)和顶盖(3),转轴(2)顶端设有拨杆(1)。
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