[实用新型]操作箱、石墨拆卸装置以及离子注入机有效
| 申请号： | 201821942901.2 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN209029331U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;倪明明;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种操作箱、石墨拆卸装置以及离子注入机。所述操作箱包括操作手套和箱体，所述操作手套与设置在所述箱体上的操作口连接并将所述箱体密封，如此，操作人员在所述石墨室内拆卸石墨时不会将空气带入所述操作箱与石墨室连通的空间内。进一步的，可通过泵体控制所述箱体与所述石墨室连通的室内的压力低于惰性气体箱的压力，所述惰性气体箱内的惰性气体进入所述操作箱的箱体，将所述箱体与所述石墨室连通的室内原有的空气排出，以保证拆卸时，所述箱体与所述石墨室连通的室内基本没有空气，从而防止拆卸表面具有磷层的石墨时引起冒烟，消除火灾发生的隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 操作箱 连通 惰性气体 室内 拆卸 离子注入机 操作手套 拆卸装置 本实用新型 火灾发生 箱体密封 操作口 原有的 泵体 磷层 排出 冒烟 保证 | ||
【主权项】：
1.一种操作箱，用于拆卸离子注入机中表面具有磷层的石墨，所述离子注入机包括一用以容置所述石墨的石墨室，所述石墨室设有一拆装口，其特征在于，所述操作箱包括箱体以及操作手套；所述箱体与所述石墨室的拆装口连通，且所述箱体远离所述石墨室的一面设有操作口，所述操作手套与所述操作口连接并将所述箱体密封；所述箱体上设有进气口以及排气口，所述进气口与一惰性气体源连接，所述排气口用以排出所述石墨室内的空气。
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