[实用新型]一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构

摘要

本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，其结构包括电极、押元盖、轴受、绝缘垫片、第一法兰、第二法兰、轴承、微型传感器、传感器用遮蔽器、传感器支架、夹具、齿轮、无接点马达机构、支柱、齿轮箱、钢带连接支座、钢带连接变压器、水冷套和本体保护罩组成，电极左部外侧与押元盖进行螺纹连接，押元盖右侧中部与轴受进行水平插接，本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，结构简单方便，机械故障率低，由于带水冷功能，大大降低了工作时的热量辐射，因此对低温共金工艺的温度控制尤其效果明显，蒸镀时工艺温度因带水冷能够控制在60度以下。

主权项

1.一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，其特征在于：包括电极（1）、押元盖（2）、轴受（3）、绝缘垫片（4）、第一法兰（5）、第二法兰（6）、轴承（7）、微型传感器（8）、传感器用遮蔽器（9）、传感器支架（10）、夹具（11）、齿轮（12）、无接点马达机构（13）、支柱（14）、齿轮箱（15）、钢带连接支座（16）、钢带连接变压器（17）、水冷套（18）和本体保护罩（19）组成，所述电极（1）左部外侧与押元盖（2）进行螺纹连接，所述押元盖（2）右侧中部与轴受（3）进行水平插接，所述轴受（3）右部外侧通过绝缘垫片（4）与第一法兰（5）进行螺纹连接，所述第一法兰（5）右侧与第二法兰（6）进行螺纹连接，所述轴受（3）右侧通过轴承（7）与第二法兰（6）进行螺纹连接，所述电极（1）中部后侧通过传感器用遮蔽器（9）与传感器支架（10）进行螺纹连接，所述微型传感器（8）右侧通过传感器支架（10）与电极（1）进行转动连接，所述电极（1）右部后侧与夹具（11）进行螺纹连接，所述夹具（11）底部与齿轮（12）进行焊接，所述齿轮（12）底侧与无接点马达机构（13）进行传动连接，所述无接点马达机构（13）左侧通过支柱（14）与第二法兰（6）进行插接，所述无接点马达机构（13）右侧与齿轮箱（15）进行传动连接，所述电极（1）顶部右侧后部与钢带连接支座（16）进行螺纹连接，所述钢带连接支座（16）右侧与钢带连接变压器（17）进行螺纹连接，所述电极（1）右部顶侧与水冷套（18）进行焊接，所述电极（1）右部外侧设置有本体保护罩（19）。