[实用新型]一种单面研磨机压头装置有效
| 申请号： | 201821947278.X | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN209304314U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 苏静洪;裴忠;张王锋;朱勤超;梁文 | 申请（专利权）人： | 天通日进精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 张抗震 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单面研磨机压头装置，包括：贴附有抛光膜的压盘装置及驱动压盘装置上下动作的第一驱动装置；压盘装置与第一驱动装置固定连接；其中，所述压盘装置包括：可水平转动的安装在第一驱动装置上的第一压盘，所述第一压盘工作面上设置有凹槽；所述凹槽内设置有第二压盘，所述第二压盘工作面不突出于第一压盘工作面；第一压盘内还设置有抛光时驱动第二压盘抵压在抛光膜上的第二驱动装置。通过在压盘装置中设置第二压盘以及抛光时驱动第二压盘抵接在抛光膜上的第二驱动装置，实现了压力的区域分布，将载物盘的形变量控制在一个合理的范围内，从而使得载物盘上的内外圈晶圆在抛光后，厚度差保持在一定范围以内，提升了晶圆抛光的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 压盘 压盘装置 第一驱动装置 抛光膜 抛光 第二驱动装置 单面研磨机 压头装置 载物盘 驱动 本实用新型 晶圆抛光 区域分布 上下动作 水平转动 厚度差 内外圈 形变量 抵接 抵压 晶圆 | ||
【主权项】：
1.一种单面研磨机压头装置，包括：贴附有抛光膜的压盘装置及驱动压盘装置上下动作的第一驱动装置；压盘装置与第一驱动装置固定连接；其特征在于，所述压盘装置包括：可水平转动的安装在第一驱动装置上的第一压盘，所述第一压盘工作面上设置有凹槽；所述凹槽内设置有第二压盘，所述第二压盘工作面不突出于第一压盘工作面；第一压盘内还设置有抛光时驱动第二压盘抵压在抛光膜上的第二驱动装置。
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