[实用新型]中空旋转平台装置

摘要

本实用新型属于半导体制程中涂胶显影领域，具体地说是一种中空旋转平台装置，包括单元平台、轴承组件、中空轴、chuck、锥齿轮A、锥齿轮B及电机，中空轴通过轴承组件转动安装于单元平台上，中空轴的一端与chuck相连，另一端与负压源连接；电机安装于单元平台上，电机的输出轴连接有锥齿轮A，中空轴上安装有锥齿轮B，锥齿轮B与锥齿轮A相啮合；晶圆放置在chuck上，并通过负压源提供的真空被吸附于chuck上。本实用新型可选用常用普通电机，通过锥齿轮啮合结构达到chuck旋转的目的；本实用新型的中空轴实现真空吸附的功能，解决了单元电机采用专用中空旋转电机的量小、面窄、价格高、占用空间大等应用限制性。

主权项

1.一种中空旋转平台装置，其特征在于：包括单元平台(1)、轴承组件(2)、中空轴(3)、chuck(4)、锥齿轮A(5)、锥齿轮B(6)及电机(7)，其中中空轴(3)通过轴承组件(2)转动安装于单元平台(1)上，该中空轴(3)的一端与所述chuck(4)相连，另一端与负压源连接；所述电机(7)安装于单元平台(1)上，该电机(7)的输出轴连接有锥齿轮A(5)，所述中空轴(3)上安装有锥齿轮B(6)，该锥齿轮B(6)与所述锥齿轮A(5)相啮合；晶圆(11)放置在所述chuck(4)上，并通过所述负压源提供的真空被吸附于chuck(4)上。