[实用新型]一种研磨液回收装置有效
| 申请号： | 201821963934.5 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN209735716U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 冯克耀;杨淼;张书豪;蔡家豪;邱智中;蔡吉明 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B02C17/10 | 分类号： | B02C17/10;B02C17/18;B02C17/20;B02C23/00;B03C1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于半导体制造设备领域，尤其涉及一种研磨液回收装置，用于回收研磨液中的磁性研磨颗粒，该回收装置至少包括废液储罐、循环供液泵和磁吸附装置，废液储罐上端开设有废液入口，入口处设置有过滤网，下端开设有废液出口，循环供液泵从废液排出口抽取废液一部分通过第一管路进入磁吸附装置，另一部分通过第二管路返后从排出口返回废液储罐，所述磁性吸附装置内废液则经由第三管路返回至废液储罐内。 | ||
| 搜索关键词： | 废液储罐 磁吸附装置 回收装置 循环供液 研磨液 废液 半导体制造设备 磁性吸附装置 本实用新型 废液排出口 磁性研磨 废液出口 废液入口 返回 上端 过滤网 排出口 入口处 下端 抽取 回收 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液回收装置，用于回收研磨液中的磁性研磨颗粒，其特征在于：该回收装置至少包括废液储罐、循环供液泵和磁吸附装置，废液储罐上端开设有废液入口，入口处设置有过滤网，下端开设有废液出口，循环供液泵从废液排出口抽取废液，一部分通过第一管路进入磁吸附装置，另一部分通过第二管路返后从排出口返回废液储罐,所述磁吸附装置内废液则经由第三管路返回至废液储罐内。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽三安光电有限公司，未经安徽三安光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821963934.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种陶瓷原料的研磨装置
- 下一篇：一种砖块生产料球磨机
