[实用新型]一种光谱仪系统有效
| 申请号： | 201821964097.8 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN209264115U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 苏胜飞 | 申请（专利权）人： | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;雄安华讯方舟科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光学技术领域，提供了一种光谱仪系统，包括入射狭缝、准直透镜、色散元件、聚焦透镜、出射狭缝及探测器，扫描振镜以及振镜控制系统，通过振镜控制系统控制角度的扫描振镜来扫描和反射入射光，再通过色散元件进行分光将不同波长的单色光进行色散后，经由探测器获取各个旋转角度对应的光强信息，由于振镜的角度与波长一一对应，进而能够获取到入射光的光谱信息，使用振镜用来扫描光谱，取代了旋转光栅的光谱仪系统，过振镜控制系统能够准确控制扫描振镜的角度，使得光谱仪系统稳定可靠，提高测量精准度并降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱仪系统 振镜控制系统 扫描振镜 色散元件 入射光 波长 探测器 振镜 光学技术领域 本实用新型 测量精准 出射狭缝 光谱信息 光强信息 聚焦透镜 入射狭缝 扫描光谱 旋转光栅 制造成本 准确控制 准直透镜 单色光 分光 色散 反射 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种光谱仪系统，所述光谱仪系统包括入射狭缝、准直透镜、色散元件、聚焦透镜、出射狭缝及探测器，其特征在于，所述光谱仪系统还包括扫描振镜和振镜控制系统；所述入射狭缝对入射光的辐射通量进行限制，所述准直透镜对通过所述入射狭缝的入射光进行准直，所述扫描振镜将准直后的入射光反射到所述色散元件上进行分光，所述色散元件将不同波长的入射光按不同的出射方向进行色散后通过聚焦透镜进行聚焦获取单色光，所述单色光穿过所述出射狭缝聚焦在所述探测器；所述振镜控制系统控制所述扫描振镜的角度和记录所述扫描振镜的角度；所述聚焦透镜、所述出射狭缝以及所述探测器在光路中的位置固定不变。
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