[实用新型]一种油浸式行星轮刷头结构有效
| 申请号： | 201821967344.X | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN208985954U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 寇明虎 | 申请（专利权）人： | 北京特思迪设备制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;B08B1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101300 北京市顺义区顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种一种油浸式行星轮刷头机构，包括定位机构和毛刷运行机构，其中，所述定位机构包括直线导轨、固定座、调整螺母、拖链、轴承座、滚珠丝杠、传感器组、传感器感应片、丝杠固定座、连接板、联轴器、电机支架、伺服电机、连接块、浮动接头、气缸、气缸固定板、固定板，所述丝杠固定座、直线导轨上的滑动块与毛刷运行机构的固定板固定连接，所述伺服电机和气缸为执行元件，且所述伺服电机和气缸通过丝杠固定座和直线导轨驱动毛刷运行结构上下运行。 | ||
| 搜索关键词： | 丝杠固定座 伺服电机 直线导轨 毛刷 气缸 定位机构 运行机构 固定板 行星轮 油浸式 传感器感应片 本实用新型 气缸固定板 传感器组 电机支架 调整螺母 浮动接头 滚珠丝杠 上下运行 刷头机构 刷头结构 固定座 滑动块 联轴器 连接板 轴承座 拖链 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种油浸式行星轮刷头机构，其特征在于：包括定位机构和毛刷运行机构，其中，所述定位机构包括直线导轨、固定座、调整螺母、拖链、轴承座、滚珠丝杠、传感器组、传感器感应片、丝杠固定座、连接板、联轴器、电机支架、伺服电机、连接块、浮动接头、气缸、气缸固定板、固定板，所述丝杠固定座、直线导轨上的滑动块与毛刷运行机构的固定板固定连接，所述伺服电机和气缸为执行元件，且所述伺服电机和气缸通过丝杠固定座和直线导轨驱动毛刷运行结构上下运行。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
