[实用新型]一种可调式扫描电子显微镜有效

专利信息
申请号: 201821969975.5 申请日: 2018-11-28
公开(公告)号: CN209183499U 公开(公告)日: 2019-07-30
发明(设计)人: 皮晓宇 申请(专利权)人: 上海欧波同仪器有限公司
主分类号: H01J37/28 分类号: H01J37/28;H01J37/20;H01J37/02;H05K7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200433 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种可调式扫描电子显微镜,包括工作台体,所述工作台体的顶部通过螺栓连接有箱体,且箱体的顶部通过螺栓连接有扫描箱体,所述工作台体的顶部滑动连接有四个等距离分布的滚轮,且滚轮的顶部通过转轴通过支撑杆,所述支撑杆的顶部通过螺栓连接有置物台,所述置物台的顶部通过螺栓连接有定位杆。本实用新型中,通过设置有电动机、螺纹杆、定位杆、样品放置台、置物台,将样品放置在样品放置台,通过滚轮将置物台推入箱体内部,处理器控制电动机带动螺纹杆转动,螺纹杆带动样品放置台进行高度调节,观察效果更佳,风扇支撑架上安装的伺服电机带动散热扇转动,可对电子枪进行降温,提高了电子枪的使用寿命。
搜索关键词: 螺栓连接 置物台 样品放置台 工作台体 螺纹杆 滚轮 本实用新型 电子显微镜 可调式扫描 电动机 电子枪 定位杆 支撑杆 转动 处理器控制 等距离分布 风扇支撑架 高度调节 滑动连接 使用寿命 伺服电机 箱体内部 样品放置 散热扇 推入 转轴 扫描 观察
【主权项】:
1.一种可调式扫描电子显微镜,包括工作台体(3),其特征在于,所述工作台体(3)的顶部通过螺栓连接有箱体(7),且箱体(7)的顶部通过螺栓连接有扫描箱体(13),所述工作台体(3)的顶部滑动连接有四个等距离分布的滚轮(4),且滚轮(4)的顶部通过转轴通过支撑杆(5),所述支撑杆(5)的顶部通过螺栓连接有置物台(6),所述置物台(6)的顶部通过螺栓连接有定位杆(16),且定位杆(16)的外壁滑动连接有样品放置台(17),所述置物台(6)的底部通过螺栓连接有电动机(19),且电动机(19)的顶部通过联轴器连接有螺纹杆(18),所述螺纹杆(18)与样品放置台(17)通过螺纹连接,所述扫描箱体(13)的内部顶部通过螺栓连接有电子枪(12),且扫描箱体(13)的内壁一侧通过螺栓连接有聚光镜头(10),所述扫描箱体(13)的一侧通过螺栓连接有空气动力阀(14),所述扫描箱体(13)的一侧通过螺栓连接有物镜光圈试片(15),所述工作台体(3)的内壁开设有真空腔,且真空腔的内部通过螺栓连接有信号接收器(20),所述扫描箱体(13)的顶部开设有空腔,且空腔的顶部通过螺栓连接有防护网(22),所述箱体(7)的外壁通过螺栓连接有处理器(26),所述扫描箱体(13)的内壁空腔通过螺栓连接有风扇支撑架(25)。
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