[实用新型]一种用于硅片贴片机的冷却装置有效
| 申请号： | 201821971549.5 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN209266363U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 胡晓光;徐继东;厉惠宏 | 申请（专利权）人： | 金瑞泓科技（衢州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 324000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅片贴片机的冷却装置，包括工作台、下冷却盘和上冷却盘，所述的工作台上端中部安装有升降气缸，该升降气缸上端的活塞杆与下冷却盘相连，所述的工作台上端位于升降气缸的两侧均竖直安装有直线轴承，该直线轴承内安装有上下滑动的导向轴，所述的导向轴的上端与下冷却盘的下端一侧固定，所述的工作台位于下冷却盘的上方水平布置有横梁，该横梁上安装有上冷却盘基板，所述的上冷却盘基板的两侧均竖直安装有吊柱套，每个吊柱套内安装有上下浮动的吊柱，所述的吊柱的下端与上冷却盘相连。本实用结构简单，使用方便，自动化程度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 上冷却盘 下冷却盘 上端 工作台 吊柱 升降气缸 冷却装置 竖直安装 直线轴承 导向轴 贴片机 硅片 横梁 基板 下端 本实用新型 上下浮动 上下滑动 实用结构 水平布置 活塞杆 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种用于硅片贴片机的冷却装置，包括工作台(1)、下冷却盘(4)和上冷却盘(5)，其特征在于：所述的工作台(1)上端中部安装有升降气缸(11)，该升降气缸(11)上端的活塞杆与下冷却盘(4)相连，所述的工作台(1)上端位于升降气缸(11)的两侧均竖直安装有直线轴承(2)，该直线轴承(2)内安装有上下滑动的导向轴(10)，所述的导向轴(10)的上端与下冷却盘(4)的下端一侧固定，所述的工作台(1)位于下冷却盘(4)的上方水平布置有横梁(14)，该横梁(14)上安装有上冷却盘基板(8)，所述的上冷却盘基板(8)的两侧均竖直安装有吊柱套(9)，每个吊柱套(9)内安装有上下浮动的吊柱(7)，所述的吊柱(7)的下端与上冷却盘(5)相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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