[实用新型]一种增强型离子源有效
| 申请号： | 201821976620.9 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN210272248U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 莫申波;周卫星 | 申请（专利权）人： | 合肥如一真空设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种增强型离子源，属于离子源的技术领域；所述离子源腔室沿工作气体流动方向依次设置有气体入口、气体均布室、气体出口、电离室与离子射出口；所述电离室用于工作气体的电离；所述气体均布室用于工作气体的流速降低和均匀分布。本实用新型设有用于工作气体降低流速、均匀分布的气体均布室，流速进一步的变得缓慢，当为多种工作气体的混合时，也是可以将工作气体更加均匀的混合，在对工作气体进行电离时，测其离子射出口的电流，其远远高于未设置气体均布室时的数据，本实用新型的离子源具有较高的离化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 离子源 | ||
【主权项】：
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