[实用新型]磁控溅射镀膜机

摘要

本实用新型属于磁控溅射技术领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机，包括热温镀膜装置、冷温镀膜装置、供料卸料装置和中转搬送装置。该磁控溅射镀膜机可以在‑100～800℃的温度范围内选择任意温度进行磁控溅射，从而极大地提高待镀膜物料磁控溅射的作业温度范围，以及使待镀膜物料多次往返于热温镀膜装置100和冷温镀膜装置200之间进行镀膜作业，这样，极大地丰富了了成膜环境的多样性，有利于企业、大学或科研机构探索、挖掘磁性材料薄膜、超晶格薄膜等的特性。

主权项

1.一种磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括：热温镀膜装置，包括热温料阀、具有热温镀膜腔的热温镀膜室、设于所述热温镀膜腔内并用于固定待镀膜物料的热温固定件、用于加热所述热温固定件且能够将所述热温固定件加热至X～800℃中任一温度的热温温控组件以及至少一个设于所述热温镀膜腔内并与所述热温固定件间隔设置的热温磁控溅射靶，所述热温镀膜室开设有供待镀膜物料进出所述热温镀膜腔的热温进出料口，所述热温料阀用于打开/关闭所述热温进出料口；冷温镀膜装置，包括冷温料阀、具有冷温镀膜腔的冷温镀膜室、设于所述冷温镀膜腔内并用于固定待镀膜物料的冷温固定件、用于冷却所述冷温固定件且能够将所述冷温固定件冷却至‑100℃～X中任一温度的冷温温控组件以及至少一个设于所述冷温镀膜腔内并与所述冷温固定件间隔设置的冷温磁控溅射靶，所述冷温镀膜室开设有供待镀膜物料进出所述冷温镀膜腔的冷温进出料口，所述冷温料阀用于打开/关闭所述冷温进出料口；供料卸料装置，用于供应待镀膜物料以及用于将待镀膜物料取离；中转搬送装置，包括具有中转搬送腔的中转搬送室以及设于所述中转搬送腔的中转搬送机械手，所述中转搬送室开设经用于供待镀膜物料进出所述中转搬送腔的热端进出料口、冷端进出料口和供料端进出料口，所述热端进出料口与所述热温进出料口对接，所述冷端进出料口与所述冷温进出料口对接，所述中转搬送机械手用于使待镀物料经所述热端进出料口、所述热温进出料口而让待镀物料从所述热温镀膜腔运送至所述中转搬送腔或将待镀物料从所述中转搬送腔运送至所述热温镀膜腔，所述中转搬送机械手用于使待镀物料经所述冷端进出料口、所述冷温进出料口而将待镀物料从所述冷温镀膜腔运送至所述中转搬送腔或让待镀物料从所述中转搬送腔运送至所述冷温镀膜腔，所述中转搬送机械手还用于使待镀物料经供料端进出料口而让待镀物料从所述中转搬送腔运送至供料卸料装置或让待镀物料从所述供料卸料装置运送至中转搬送腔；其中，X为常温。