[实用新型]一种电解制砷烷系统有效
申请号: | 201821990312.1 | 申请日: | 2018-11-29 |
公开(公告)号: | CN209243191U | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 赵青松;宁红锋;闫东升;刘文杰;彭小磊;南建辉 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | C25B1/00 | 分类号: | C25B1/00;C25B9/08;C25B15/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 韩建伟;梁文惠 |
地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了种电解制砷烷系统。该电解制砷烷系统包括:电解池,电解池具有电解电源、阳极室和阴极室;阳极气体输送管路,与阳极室相连;阴极气体输送管路,与阴极室相连,电解制砷烷系统还包括:安全箱体,电解池、阳极气体输送管路和阴极气体输送管路罩设在安全箱体的空腔内,安全箱体具有排气管路和抽真空设备,排气管路上设置有第一压力检测器,安全箱体内设置有第二压力检测器;安全控制单元,安全控制单元具有报警设备,报警设备与第一压力检测器、第二压力检测器和电解电源电连接。通过设置安全箱体避免了气体泄露扩散;通过检测安全箱体内外压差,在发现压差异常时及时报警,实现了电解制砷烷系统的安全运行,有利于其工程化应用。 | ||
搜索关键词: | 安全箱体 砷烷 压力检测器 电解 输送管路 电解池 安全控制单元 报警设备 电解电源 排气管路 阳极气体 阴极气体 阳极室 阴极室 本实用新型 抽真空设备 工程化应用 安全运行 内外压差 气体泄露 电连接 常时 空腔 报警 扩散 检测 发现 | ||
【主权项】:
1.一种电解制砷烷系统,所述电解制砷烷系统包括:电解池,所述电解池具有电解电源(10)、阳极室(11)和阴极室(12);阳极气体输送管路(20),与所述阳极室(11)相连;阴极气体输送管路,与所述阴极室(12)相连,其特征在于,所述电解制砷烷系统还包括:安全箱体(40),所述电解池、所述阳极气体输送管路(20)和所述阴极气体输送管路罩设在所述安全箱体(40)的空腔内,所述安全箱体(40)具有排气管路(41)和抽真空设备(42),所述排气管路(41)上设置有第一压力检测器(43),所述安全箱体(40)内设置有第二压力检测器(44);安全控制单元(50),所述安全控制单元(50)具有报警设备,所述报警设备与所述第一压力检测器(43)、第二压力检测器(44)和所述电解电源(10)电连接。
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