[实用新型]一体式石英双振梁加速度计有效
| 申请号： | 201821993984.8 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN208953557U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 张照云;唐彬;刘显学;苏伟;高彩云;沈朝阳;熊壮;许蔚;彭勃 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;G01P15/09;G01P15/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于挠性梁的下表面与质量块下表面之间的距离，振梁的一端连接于装配区的上表面，另一端连接于质量块的上表面。该一体式石英双振梁加速度计一体成型，相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点，另外采用双振梁，可以避免真空封装，在使用中更加稳定可靠，挠性梁位于质量块上下表面的中间，提高器件的灵敏度，挠性梁的厚度跟振梁的厚度可以不一致，增加了设计的自由度。 | ||
| 搜索关键词： | 挠性梁 质量块 加速度计 石英 上表面 装配区 一端连接 下表面 质量块上表面 本实用新型 一体成型的 金属电极 上下表面 一体成型 真空封装 不一致 分体式 灵敏度 易加工 装配 | ||
【主权项】：
1.一种一体式石英双振梁加速度计，其特征在于，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，所述质量块通过所述挠性梁及所述振梁连接于所述装配区；其中，所述振梁包括第一直梁及第二直梁，所述第一直梁及所述第二直梁并列设置，所述第一直梁及所述第二直梁的一端连接于所述装配区，另一端连接于所述质量块，所述金属电极设置所述第一直梁及所述第二直梁上，所述第一直梁及所述第二直梁上的金属电极的极性相反；其中，所述挠性梁包括两个连接梁，两个连接梁位于所述振梁的两侧，所述挠性梁的一端连接于所述装配区，另一端连接于所述质量块；其中，所述挠性梁及振梁的厚度小于所述装配区及所述质量块的厚度；所述挠性梁的上表面与所述质量块上表面之间的距离等于所述挠性梁的下表面与所述质量块下表面之间的距离，所述振梁的一端连接于所述装配区的上表面，另一端连接于所述质量块的上表面。
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