[实用新型]微流体致动器

摘要

一种微流体致动器，包含基板、腔体层、振动层、下电极层、压电致动层、上电极层、孔板层以及流道层。基板通过蚀刻制程形成出流孔洞、第一进流孔洞以及第二进流孔洞。腔体层形成于基板上，并通过蚀刻制程形成储流腔室。振动层形成于腔体层上。下电极层形成于振动层上。压电致动层形成于下电极层上。上电极层形成于压电致动层上。孔板层通过蚀刻制程形成出流口及进流口。流道层形成于孔板层之上，通过光刻制程形成出流通道及进流通道，并接合于基板。提供驱动电源至上电极层以及下电极层，以驱动并控制振动层产生上下位移，以完成流体传输。

主权项

1.一种微流体致动器，其特征在于，包含：一基板，具有一第一表面及一第二表面，通过蚀刻制程形成一出口沟槽、二进口沟槽、一出流孔洞、多个第一进流孔洞以及二第二进流孔洞，该出口沟槽与该出流孔洞相连通，每一该进口沟槽与部分的该多个第一进流孔洞以及相对应的该多个第二进流孔洞相连通，该多个进口沟槽分别对称设置在该出口沟槽的两侧，该多个第一进流孔洞对称设置在该出流孔洞的两侧，该第二进流孔洞分别对称设置在该出流孔洞的两侧，且于该多个第一进流孔洞的一端；一腔体层，通过沉积制程形成于该基板的该第一表面上，且通过蚀刻制程形成一储流腔室，该储流腔室与该出流孔洞、该多个第一进流孔洞以及该多个第二进流孔洞相连通；一振动层，通过沉积制程形成于该腔体层上；一下电极层，通过沉积制程及蚀刻制程形成于该振动层上；一压电致动层，通过沉积制程及蚀刻制程形成于该下电极层上；一上电极层，通过沉积制程及蚀刻制程形成于该压电致动层上；一孔板层，通过蚀刻制程形成一出流口以及二进流口，该多个进流口分别对称设置在该出流口的两侧；以及一流道层，通过一干膜材料滚压制程形成于该孔板层之上、通过光刻制程形成一出流通道、二进流通道以及多个柱状结构、以及通过覆晶对位与热压合制程接合于该基板的该第二表面，该多个进流通道分别对称设置在该出流通道的两侧，该多个柱状结构对称设置在该出流通道的两侧，该孔板层的该出流口借由该出流通道与该基板的该出口沟槽相连通，该孔板层的该多个进流口分别借由该多个进流通道与该基板的该多个进口沟槽相连通；其中，提供具有不同相位电荷的驱动电源至该上电极层以及该下电极层，以驱动并控制该振动层产生上下位移，使流体自该多个进流口吸入，通过该多个第一进流孔洞以及该多个第二进流孔洞流至该储流腔室，最后受挤压经由该出流孔洞后自该出流口排出以完成流体传输。