[实用新型]一种石英坩埚喷涂系统中的专用搬运装置

摘要

本实用新型公开了一种石英坩埚喷涂系统中的专用搬运装置，包括机架，所述支撑板的下表面对称设置有第一U型铰接座，上下对应的两个所述第一U型铰接座与第二U型铰接座之间设置有第一电推杆，所述支撑板的上表面设置有L型活动板，所述L型活动板的上表面开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有多个缓冲弹簧，多个所述缓冲弹簧的上端共同设置有与安装槽匹配的缓冲板。本实用新型设置有缓冲板和缓冲弹簧，通过第二电推杆带动连接板向上移动，同时通过第一电推杆带动支撑板向上移动并转动，实现缓冲板与石英坩埚的底部接触，又利用缓冲弹簧起到了对石英坩埚缓冲的效果，防止吸盘夹具损坏时石英掉落摔坏。

主权项

1.一种石英坩埚喷涂系统中的专用搬运装置，包括机架(2)，其特征在于：所述机架(2)的中部设置有升降机构(1)，且所述机架(2)的外侧对称设置有支撑臂(3)，每个所述支撑臂(3)的一侧均设置有吸盘机构(4)，所述机架(2)的右侧设置有动力机构(14)，所述动力机构(14)的一侧设置有控制开关(25)，所述机架(2)的底部对称设置有支撑架(13)，所述支撑架(13)的上表面设置有电动伸缩杆(16)，所述电动伸缩杆(16)的输出端设置有连接块(24)，所述连接块(24)的下表面设置有空腔体(9)，所述空腔体(9)的内部设置有限位块(23)，所述限位块(23)的一侧设置有活动杆(11)，所述活动杆(11)远离限位块(23)的一端贯穿空腔体(9)与支撑架(13)连接，所述空腔体(9)的上表面分别设置有第二U型铰接座(8)和第二电推杆(17)，两个所述第二电推杆(17)的输出端共同设置有连接板(18)，所述连接板(18)的一侧通过铰轴铰接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的下表面对称设置有第一U型铰接座(6)，上下对应的两个所述第一U型铰接座(6)与第二U型铰接座(8)之间设置有第一电推杆(7)，所述支撑板(5)的上表面设置有L型活动板(19)，所述L型活动板(19)的上表面开设有安装槽(22)，所述安装槽(22)的内部设置有多个缓冲弹簧(21)，多个所述缓冲弹簧(21)的上端共同设置有与安装槽(22)匹配的缓冲板(20)。