[实用新型]用于固定石英晶片的镀膜夹具有效

专利信息
申请号: 201822002076.4 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN209481783U 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 欧阳林;欧阳晟;韩何明 申请(专利权)人: 广州晶优电子科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/44
代理公司: 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 代理人: 林伟斌
地址: 510663 广东省广州市高*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及石英产品制造领域,公开了一种用于固定石英晶片的镀膜夹具,包括固定板和面盖板,所述固定板和所述面盖板之间自下而上依次贴合有下电极板、晶片限位板和上电极板;所述晶片限位板上开设有多个晶片限位孔,所述上电极板和所述下电极板在与所述晶片开槽对应处设有电极孔;所述固定板包括第一边框,所述面盖板包括与第一边框相对应的第二边框;所述第一边框/所述第二边框上设有磁石孔,磁石孔中安装于磁石,所述第二边框/所述第一边框能与磁石吸附;所述下电极板、晶片限位板和上电极板在与所述磁石孔对应的位置处设有通孔或镂空结构。本实用新型结构简单,应用成本低,实现了对石英晶片的稳定固定,有助于提升产品质量、降低损耗。
搜索关键词: 边框 晶片 磁石 下电极板 固定板 限位板 极板 上电 本实用新型 镀膜夹具 固定石英 面盖板 和面盖板 石英产品 石英晶片 应用成本 镂空结构 电极孔 位置处 限位孔 开槽 贴合 通孔 吸附 制造
【主权项】:
1.一种用于固定石英晶片的镀膜夹具,其特征在于,包括固定板(201)和面盖板(205),所述固定板(201)和所述面盖板(205)之间自下而上依次贴合有下电极板(202)、晶片限位板(203)和上电极板(204);所述晶片限位板(203)上开设有多个晶片限位孔(208),所述上电极板(204)和所述下电极板(202)在与所述晶片开槽对应处设有电极孔(207);所述固定板(201)包括第一边框,所述面盖板(205)包括与第一边框相对应的第二边框;所述第一边框/所述第二边框上设有磁石孔(206),磁石孔(206)中安装于磁石,所述第二边框/所述第一边框能吸附于磁石;所述下电极板(202)、晶片限位板(203)和上电极板(204)在与所述磁石孔(206)对应的位置处设有通孔或镂空结构。
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