[实用新型]硅通孔通道测试装置有效
| 申请号： | 201822006137.4 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209182370U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 冉红雷;黄杰;彭浩;盛晓杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝伟 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于微系统测试技术领域，提供一种硅通孔通道测试装置，包括安装座以及至少一组用于对硅通孔通道进行测试并用于对硅通孔转接板起支撑作用的探针组件，探针组件包括第一弹簧测试探针和第二弹簧测试探针，安装座包括第一支座部和第二支座部，第一弹簧测试探针设置于第一支座部上，第二弹簧测试探针设置于第二支座部上。本实用新型提供的硅通孔通道测试装置，通过设置能够对硅通孔通道的两端同时进行测试的第一弹簧测试探针和第二弹簧测试探针，克服了常规探针台测试法门槛高、非直接面向硅通孔通道等缺点，相较于现有测试法减少操作步骤、操作简便，而且本实用新型的硅通孔通道测试装置结构简单、制造成本低廉，容易推广。 | ||
| 搜索关键词： | 硅通孔 测试探针 弹簧 通道测试装置 支座部 本实用新型 探针组件 安装座 测试法 测试技术领域 测试 常规探针 支撑作用 制造成本 微系统 转接板 | ||
【主权项】：
1.硅通孔通道测试装置，其特征在于，包括安装座以及至少一组用于对硅通孔通道进行测试并用于对硅通孔转接板起支撑作用的探针组件，所述探针组件包括第一弹簧测试探针和与所述第一弹簧测试探针配合测试的第二弹簧测试探针，所述第一弹簧测试探针和所述第二弹簧测试探针的结构相同，所述安装座包括第一支座部和位于所述第一支座部一侧的第二支座部，所述第一弹簧测试探针设置于所述第一支座部上，所述第二弹簧测试探针设置于所述第二支座部上，所述第一弹簧测试探针和所述第二弹簧测试探针之间形成用于放置硅通孔转接板的放置空间。
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