[实用新型]夹心翅片及其烧制设备有效
| 申请号： | 201822011284.0 | 申请日： | 2018-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN208970504U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 吕红兵;胡露;刘建东;安文志 | 申请（专利权）人： | 上海强华实业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373 |
| 代理公司： | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人： | 宋林清 |
| 地址： | 201507 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种夹心翅片，用于半导体扩散制程中的保温隔热层，该夹心翅片包括：第一透明石英层、不透明石英层、第二透明石英层，不透明石英层被夹在第一透明石英层和第二透明石英层之间，并且，不透明石英层的上表面与第一透明石英层熔接，不透明石英层的下表面与第二透明石英层熔接。不透明石英层的面积尺寸小于第一透明石英层或/和第二透明石英层，使得夹心翅片形如夹心饼干。 | ||
| 搜索关键词： | 透明石英 不透明 石英层 翅片 熔接 半导体扩散 保温隔热层 夹心饼干 烧制设备 翅片形 上表面 下表面 制程 | ||
【主权项】：
1.一种夹心翅片，用于半导体扩散制程中的保温隔热层，其特征在于，该夹心翅片包括：第一透明石英层、不透明石英层、第二透明石英层，不透明石英层被夹在第一透明石英层和第二透明石英层之间，并且，不透明石英层的上表面与第一透明石英层熔接，不透明石英层的下表面与第二透明石英层熔接。
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