[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 201822025382.X | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN209024676U | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 沈烨 | 申请(专利权)人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 678014 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉,包括本体,单晶炉还包括导气筒和护底压板;导气筒靠近所述护底压板的一端周向侧壁上设置有至少一个第一凸起部;所述护底压板上设置有至少一个用于装配所述导气筒的装配孔,所述装配孔内侧壁上设置有至少一个卡槽,所述第一凸起部可设置于所述卡槽内,使所述导气筒与所述护底压板连接并固定。本实用新型将导气筒与护底压板的连接关系进行限制,减少两相滑动的可能性,预防了单晶炉反冲气流将导气筒顶起,并使其与加热器接触的可能,从而减少了打火现象的发生,保护了导气筒的表面,减少受损面积以及修复、更换的次数。 | ||
搜索关键词: | 导气筒 底压板 单晶炉 本实用新型 凸起部 装配孔 卡槽 加热器接触 打火现象 连接关系 周向侧壁 内侧壁 滑动 反冲 两相 装配 受损 修复 预防 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉,包括:本体,其特征在于,所述单晶炉还包括:导气筒和护底压板;所述导气筒靠近所述护底压板的一端周向侧壁上设置有至少一个第一凸起部;所述护底压板上设置有至少一个用于装配所述导气筒的装配孔,所述装配孔内侧壁上设置有至少一个卡槽,所述第一凸起部可设置于所述卡槽内,使所述导气筒与所述护底压板连接并固定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于保山隆基硅材料有限公司,未经保山隆基硅材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201822025382.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种单晶炉副室炉筒清理工具
- 下一篇:一种单晶炉加热器