[实用新型]一种新型周期极化畴反转结构晶体的制备装置有效
| 申请号： | 201822027472.2 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209086628U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 孔剑;刘景业 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | G02F1/355 | 分类号： | G02F1/355;C30B33/04 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型周期极化畴反转结构晶体的制备装置，包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的上方设置有S型或螺旋形电晕线，电晕线连接气体源和高压电源。本实用新型采用的S型或螺旋形电晕线能够在产生均匀电场的同时有效地消除趋肤效应引起的尖端放电，有效改善了极化电场的均匀程度，提高良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 铁电晶体 电晕线 畴反转结构晶体 本实用新型 周期性电极 制备装置 周期极化 螺旋形 真空腔 高压电源 极化电场 尖端放电 均匀电场 趋肤效应 接地 良品率 气体源 样品台 有效地 底面 刻蚀 | ||
【主权项】：
1.一种新型周期极化畴反转结构晶体的制备装置，其特征在于：包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的上方设置有S型或螺旋形电晕线，电晕线连接气体源和高压电源。
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