[实用新型]一种用于 ITO 靶材冷压固定装置有效
申请号: | 201822035850.1 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN210758405U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 张玲莉;那嘉;周传水;余永强;李隽;柯尚文;康明锋;董永亮;范家伟 | 申请(专利权)人: | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
主分类号: | B28B17/00 | 分类号: | B28B17/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 左恒峰 |
地址: | 528137 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于ITO靶材冷压固定装置,包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板,所述固定板侧边设有固定凹槽,所述固定板上均匀排布有透压圆孔;在使用时将两块采用PVC材料的固定板分别放置于已密封包装好的ITO靶材的上方和下方,然后用皮筋夹紧夹稳,使其连成一体;再将其一齐放入冷压缸中加纯水进行冷压,透压圆孔在让冷压过程中,使水可以自由均匀地从固定板中穿过,进而将压力均匀地传递到待压ITO靶材,从而不影响冷压的效果;可使靶材结构完整性得到了很好的保护,外观上没有明显裂纹,靶材亦未出现进水现象;可大大地提高ITO靶材加工后结构的完整性,为进一步的加工带来更大的便利。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 ito 靶材冷压 固定 装置 | ||
【主权项】:
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